在X射線熒光光譜定量分析這一精密的檢測(cè)技術(shù)中，不確定度如同隱藏在精準(zhǔn)數(shù)據(jù)背后的“迷霧”，其來源廣泛且復(fù)雜，對(duì)分析結(jié)果的可靠性有著重要影響。
儀器因素是不確定度的重要源頭之一。X射線管作為激發(fā)源，其輸出強(qiáng)度的穩(wěn)定性直接關(guān)系到X熒光光譜儀激發(fā)樣品產(chǎn)生特征X射線的效率。若X射線管老化、電壓波動(dòng)，輸出強(qiáng)度就會(huì)不穩(wěn)定，導(dǎo)致檢測(cè)到的熒光信號(hào)強(qiáng)度出現(xiàn)偏差，進(jìn)而影響定量分析結(jié)果。探測(cè)器的性能同樣關(guān)鍵，其分辨率、靈敏度和線性范圍等特性決定了對(duì)熒光信號(hào)的捕捉和轉(zhuǎn)換能力。探測(cè)器分辨率不足，可能無法準(zhǔn)確區(qū)分相近能量的特征X射線，使測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)誤差；靈敏度下降則會(huì)導(dǎo)致弱信號(hào)丟失，影響分析的準(zhǔn)確性。
樣品因素也不容忽視。樣品的均勻性對(duì)分析結(jié)果影響顯著。若樣品中元素分布不均勻，不同部位的測(cè)量值會(huì)有差異，難以獲得具有代表性的準(zhǔn)確結(jié)果。樣品的表面狀態(tài)同樣重要，表面粗糙、存在污染或氧化層等，都會(huì)改變熒光分析儀X射線的激發(fā)和散射條件，影響熒光信號(hào)的強(qiáng)度和特征，從而引入不確定度。此外，樣品的基體效應(yīng)也是一個(gè)復(fù)雜且難以完全消除的因素。不同元素之間會(huì)相互影響，如吸收-增強(qiáng)效應(yīng)，會(huì)使某些元素的測(cè)量值偏離真實(shí)值。
環(huán)境條件的變化也會(huì)帶來不確定度。溫度波動(dòng)可能影響儀器的電子元件性能，導(dǎo)致信號(hào)處理出現(xiàn)偏差；濕度變化可能使樣品表面性質(zhì)發(fā)生改變，影響X射線的相互作用。同時(shí)，分析過程中的操作因素，如樣品制備方法、測(cè)量時(shí)間的選擇等，若操作不當(dāng)，也會(huì)對(duì)結(jié)果產(chǎn)生干擾。
為了降低X射線熒光光譜定量分析中的不確定度，需要從儀器校準(zhǔn)、樣品處理、環(huán)境控制以及規(guī)范操作等多方面入手，盡可能減少這些不確定度來源的影響，從而提高分析結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。